过热蒸汽瞬时灭菌对于灭菌工艺来说，虽然过热蒸汽温度更高，具有比饱和蒸汽更多的热量，但过热部分的热量与饱和蒸汽冷凝所放出的汽化潜热相比却非常的小。从过热蒸汽温度降至饱和温度的时间长，使用过热蒸汽加热将降低效率。对灭菌来说，蒸汽冷凝放热的效率影响灭菌的实际效果。有时即使使用自备锅炉或蒸汽发生器产生饱和蒸汽，但是饱和蒸汽在进入灭菌柜前的蒸汽调压也会导致饱和蒸汽变成过热蒸汽。
蒸汽减压是一种绝热膨胀，上游高温高压蒸汽的减压，只有通过提高下游蒸汽的过热度来保持能量守恒。通过蒸汽减压阀的压力下降产生的蒸汽过热度取决于减压比，也取决于上游蒸汽的实际情况，如果已经知道上游蒸汽是湿蒸汽，下游有可能为湿蒸汽、干饱和蒸汽或者过热蒸汽，具体是哪种状态取决于压降。允许的出口流速取决于蒸汽的状态。
必须注意的是当蒸汽中含有3%以上的冷凝水时，虽然蒸汽的温度达标，但由于分布在产品表面的冷凝水对热量传递的阻碍，蒸汽温度经过冷凝水膜时会逐步递减，使得到达产品的实际灭菌温度会低于灭菌温度要求。特别是蒸汽携带的水，其水质可能会污染灭菌产品。
如何保持过热蒸汽瞬时灭菌的干饱和状态，既不过热也不潮湿，是灭菌蒸汽的要求和检测标准。
实际应用中往往通过检测蒸汽温度来控制灭菌效果，但是蒸汽温度和灭菌产品最不利灭菌点要求温度有时会不同。
比如当蒸汽中含有冷凝水时（不*干燥），虽然检测蒸汽的温度达标，但由于分布在产品表面的冷凝水对热量传递的阻碍，使得到达产品的实际灭菌温度会低于灭菌温度要求。特别是锅炉携带的炉水，其水质可能会污染灭菌产品。
空气等不凝性气体如果不能*排尽，或在进蒸汽时混有空气，空气会对蒸汽的灭菌温度形成另外的影响，当灭菌柜室内的空气未排除或未*排除会导致严重的灭菌问题。
